Министерство промышленности и торговли направило 2,4 миллиарда рублей на разработку российского сканирующего электронного микроскопа для измерения критических размеров на полупроводниковых пластинах. Новая установка придёт на смену японскому оборудованию Hitachi, чьи поставки в Россию ограничены санкциями, сообщило CNews.
Речь идёт о создании промышленно-ориентированного CD-SEM-микроскопа для контроля пластин диаметром 100, 150 и 200 мм. Опытный образец планируется выполнить в версии для пластин 200 мм. Установка должна использоваться для неразрушающего измерения ширины линий, размеров контактных отверстий, расстояний между элементами структуры и других критических параметров на кремниевых пластинах.
В техническом задании прямо указаны зарубежные ориентиры для замены — Hitachi CD-SEM S-9380 и CG4000. Ключевые узлы будущей российской системы, включая электронную пушку, электронно-оптическую колонну, рабочую камеру, вакуумные насосы, механизм загрузки и выгрузки пластин, контроллер и программное обеспечение, должны быть отечественного производства.
Иностранные компоненты допускаются только в исключительных случаях и по согласованию с Минпромторгом. Все работы по созданию микроскопа должны быть завершены до июня 2030 года.
Потребность в импортозамещении оборудования для микроэлектроники особенно остро проявляется на фоне общего спада на российском рынке чипов. Интернет-газета «ЖУК» сообщала, что объём российского рынка электронных компонентов по итогам 2025 года уменьшился с $4,1 млрд до $3,38 млрд, что соответствует падению на 18,3%. В текущем 2026 году аналитики прогнозируют сокращение ещё на 8,4% — до примерно $3,09 млрд.