Научно-исследовательские институты НИИТМ и НИИМЭ, входящие в Группу компаний «Элемент», начали разработку отечественной кластерной установки, объединяющей восемь модулей для вакуумного напыления слоёв алюминиевой металлизации. Оборудование предназначено для выпуска интегральных микросхем, сообщила компания на своём сайте.
В ГК «Элемент» пояснили, что ключевая особенность разработки — конфигурация транспортной системы: два распределительных узла разделены буферной камерой, что обеспечивает высокий уровень вакуума и положительно сказывается на чистоте и качестве плёнок. Такое решение позволяет разместить до восьми технологических модулей и два шлюза для загрузки и выгрузки пластин.
В состав комплекса войдут два робота-манипулятора, которые обеспечат высокую скорость работы. Оборудование выполнено по модульному принципу, что позволяет его модернизировать или адаптировать под новые задачи. Часть модулей дублируется, благодаря чему установка сохранит работоспособность даже в период обслуживания — это повышает её надёжность и эффективность.
Специалистам НИИТМ предстоит разработать конструкторскую документацию и создать макеты ключевых узлов, после чего будет изготовлен опытный образец и проведены предварительные испытания. Учёные и инженеры из НИИМЭ, в свою очередь, сформулируют технические требования к оборудованию, подготовят программы испытаний и выполнят полный цикл технологических тестов кластера.
Генеральный директор НИИТМ Михаил Бирюков отметил, что создание отечественной кластерной установки станет важной частью развития микроэлектроники в России. По словам Михаила Бирюкова, разработка оборудования с восемью технологическими модулями требует решения комплексных научно‑технических задач. Генеральный директор НИИТМ добавил, что в институте уже сформирована команда специалистов. Наработаны компетенции по созданию кластерного оборудования.
Генеральный директор НИИМЭ Александр Кравцов подчеркнул, что институты продолжают работу по созданию отечественного электронного оборудования. По словам Александра Кравцова, в 2025 году завершили разработку и сборку первых в России кластерных систем для процессов плазмохимического осаждения и травления. Генеральный директор НИИМЭ уверен, что новая установка будет востребована на предприятиях в России и за рубежом.
Разработки в области вакуумного напыления и защитных покрытий активно ведутся в России для обеспечения технологической независимости. Интернет-газета «ЖУК» сообщала, что госкорпорация Ростех освоила новую технологию нанесения защитных покрытий на лопатки компрессоров авиадвигателей — благодаря методу квадрупольного ионно-плазменного магнетронного напыления на отечественной установке ресурс деталей удалось увеличить более чем вдвое.