Учёные Новосибирского государственного университета оптимизировали параметры процесса магнетронного распыления для получения плёнок нитрида алюминия с наилучшими характеристиками. Как сообщает пресс-служба вуза, благодаря высокому качеству они найдут широкое применение в сфере систем передачи информации и мобильной связи в формате 5G.
«Спустя год-полтора экспериментального роста уже к концу 2022 года мы стали воспроизводимо получать пленки нитрида алюминия хорошего качества с точки зрения кристаллической структуры и физических свойств. Полученные ранее результаты позволили нам выстроить схему осаждений, в которой параметры процесса магнетронного распыления прицельно изменялись так, чтобы мы смогли выявить оптимальный их набор для получения пленок нитрида алюминия, подходящих для использования в составе многослойных резонаторов», – отметил научный сотрудник Лаборатории функциональной диагностики низкоразмерных структур для наноэлектроники, кандидат физико-математических наук Владимир Шаяпов.
В ближайшее время научные специалисты университета планируют синтезировать многослойную структуру акустического резонатора на объемных акустических волнах. Кроме нитрида алюмения учёные уже научились осаждать плёнки титана.
Ранее «Жуковский. Life» писало, что в Новосибирском университете разработали ИИ для обработки рентгеновской спектроскопии.