Российские институты впервые создали полный комплект отечественного оборудования для выпуска микросхем по 65-нанометровому техпроцессу. Установки для плазмохимического осаждения и травления рассчитаны на современные 200- и 300-миллиметровые кремниевые пластины, сообщает газета «Ведомости».
Разработка выполнена научно-исследовательскими институтами НИИМЭ и НИИТМ. По заявлению компании, они вошли в число пяти мировых организаций, обладающих компетенциями в создании подобных систем. Основную роль сыграл НИИМЭ, обеспечивший строительство чистых помещений, монтаж образцов и испытания. НИИТМ отвечал за конструирование оборудования.
«Установки для 65-нм техпроцесса на 300-мм пластинах удовлетворяют перспективные потребности отечественной микроэлектроники. Особое значение имеет модульная архитектура платформы, позволяющая внедрять новые процессы на существующих производственных линиях и использовать её как основу для дальнейшего перехода к освоению последующих, более продвинутых технологических норм», — подчеркнул заместитель министра промышленности и торговли РФ Василий Шпак.
Как пояснили в «Элементе», оборудование совместимо как с действующими, так и с будущими производствами. Генеральный директор НИИМЭ Александр Кравцов и гендиректор НИИТМ Михаил Бирюков назвали это создание ключевым шагом к технологической независимости.
Одновременно Шпак сообщил о серьёзном недофинансировании программы развития электронного машиностроения. По его данным, в 2024 году вместо запланированных 43,3 млрд рублей выделили 23,7 млрд, а в 2025-м — 15,7 млрд вместо 40 млрд. Общий недополученный объём средств составляет 33,1 млрд рублей, что может привести к срыву более 60 научно-исследовательских проектов к концу 2025 года.
Развитие отечественных цифровых технологий идёт по разным направлениям. Ранее «Жуковский.Life» сообщал, как в Нижегородской области впервые в России использовали генеративный искусственный интеллект для обработки обращений на «прямой линии» губернатора. Система, работавшая на отечественной платформе Deeray в облаке Cloud.ru, обработала более 6,5 тысяч вопросов. ИИ определял тематику обращений и формировал аннотации, сократив среднее время обработки одного запроса с 2 минут до 30 секунд.